基板の表面状態がSiマイクロ・ナノロールの形状に及ぼす影響

Effect of substrate surface conditions before anodization on shape of Si micro-nano rolls

Qiao, Y.*; 新井 太貴*; 鈴木 俊明*; 吉越 章隆 ; 丹羽 雅昭*; 本橋 光也*

Qiao, Y.*; Arai, Taiki*; Suzuki, Toshiaki*; Yoshigoe, Akitaka; Niwa, Masaaki*; Motohashi, Mitsuya*

単結晶Siウェーハ表面を陽極酸化することで作製した太さ1m程度のロール状構造体は、さまざまなデバイスに応用できる可能性がある。本研究では、ロールの太さ及び長さを制御することを目的に、陽極酸化前のSi基板の表面状態が与える影響を検討した。陽極酸化前のPtコートがロールの太さを制御する上で有効であることがわかった。さらに、この結果が不純物添加の種類に影響を受けないことがわかった。以上の知見は、構造体の大きさや形状を自由に制御したデバイスの開発を行うことができる可能性を提示するものである。

Roll-like structures with a thickness of about 1 m fabricated by anodization of the surface of single-crystalline Si wafers have the potential to be applied to a variety of devices. With the aim of controlling the thickness and length of the rolls, the influence of the surface condition of the Si substrate before anodization was investigated. It was found that Pt coating before anodization was effective in controlling the thickness of rolls. Furthermore, it was found that this result was not affected by the doping types.