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イオンビーム機能性透過膜、イオンビーム機能性透過膜を用いたビームライン機器、イオンビーム機能性透過膜を用いたフィルター機器、フィルター機器の調整方法

藤田 奈津子

松原 章浩*

【要約】イオンビームの透過率を高めることが可能となり、エミッタンスの改善を図ることができるイオンビーム機能性透過膜を提供するために、本発明に係るイオンビーム機能性透過膜は、一方向に進行するイオンビームが通過するビームライン機器に用いられ、チャネルを有するイオンビーム機能性透過膜であって、チャネル軸が、前記イオンビームの進行方向と実質的に平行であることを特徴とする。