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イオンビーム機能性透過膜、イオンビーム機能性透過膜を用いたビームライン機器、イオンビーム機能性透過膜を用いたフィルター機器、フィルター機器の調整方法

藤田 奈津子

松原 章浩*

【要約】イオンビームの透過率を高めることが可能となり、エミッタンスの改善を図ることができるイオンビーム機能性透過膜を提供するために、本発明に係るイオンビーム機能性透過膜は、一方向に進行するイオンビームが通過するビームライン機器に用いられ、チャネルを有するイオンビーム機能性透過膜であって、チャネル軸が、前記イオンビームの進行方向と実質的に平行であることを特徴とする。

代表出願国

 :

日本

出願番号

 :

2019-507550

公開番号

 :

WO-2018/173812

登録番号

 :

6569048

出願日

 :

2018/03/09

公開日

 :

2018/09/27

登録日

 :

2019/08/16

PCT出願番号

 :

PCT/JP2018/009288

PCT登録番号

 :

EPC出願番号

 :

EPC登録番号

 :

IPC

 :

G21K 1/14 (2006.01):G21K 1/00 (2006.01):G01T 1/185(2006.01):H05H 5/06 (2006.01):H01J 37/30 (2006.01):H01J 37/04 (2006.01)

関連特許

 :

【加速器質量分析による妨害核種分別方法およびその装置(特表2013-019509号公報)】

関連文献

 :

公開特許公報

 :

P50280A.pdf

特許公報

 :

P50280B.pdf

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データベース

 :

広報プレスリリース

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