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金属酸化物薄膜還元検知センサ

入澤 恵理子; 小松 篤史; 大久保 成彰

上田 光敏*; 河村 憲一*; 林 優作*; 山口 周*

【課題】四酸化三鉄などの金属酸化物の皮膜の状態を簡便に評価・モニターするためのセンサを提供すること。 【解決手段】金属酸化物薄膜と、該薄膜上に設置された電極対を含むセンサであって、電極間に電流を流し、該薄膜上の環境変化に基づく金属酸化物薄膜の還元による電極間の電気抵抗変化を検知することを特徴とする、センサ。

代表出願国

 :

日本

出願番号

 :

2020-062404

公開番号

 :

2021-162404

登録番号

 :

出願日

 :

2020/03/31

公開日

 :

2021/10/11

登録日

 :

PCT出願番号

 :

PCT登録番号

 :

EPC出願番号

 :

EPC登録番号

 :

IPC

 :

G01N 17/04 (2006.01):G01N 27/00 (2006.01):G01N 27/06 (2006.01):G01N 27/12 (2006.01)

関連特許

 :

関連文献

 :

公開特許公報

 :

P51820A.pdf

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 :

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From 2021.3.1

 :

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