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ターボ分子ポンプ、及びその製造方法

神谷 潤一郎; 和田 薫

桜井 充*; ナン ティン ティン トゥエ*; 上原 孝浩*; 馬渕 拓也*

【課題】高い真空排気性能を実現することができるターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】ターボ分子ポンプ1には、回転の軸線AXに沿って複数段のロータ翼31Aを有するロータ30と、軸線AXに沿って複数段のロータ翼31Aの間にそれぞれ配置される複数段のステータ翼14Aと、それらのロータ30、及び複数段のステータ翼14Aを内部に収容するケーシング11と、が設けられる。そして、それらの複数段のロータ翼31A、複数段のステータ翼14A、及びケーシング11を含むそのケーシング11の内部の少なくとも一部は、その素材に含まれるガスを放出させるための真空ベーキング処理が施された材料によって形成される。

代表出願国

 :

日本

出願番号

 :

2022-142703

公開番号

 :

2024-038591

登録番号

 :

出願日

 :

2022/09/08

公開日

 :

2024/03/21

登録日

 :

PCT出願番号

 :

PCT登録番号

 :

EPC出願番号

 :

EPC登録番号

 :

IPC

 :

F04D 19/04 (2006.01)

関連特許

 :

[特許文献1] 浦野 特開平4-370394[特許文献2] 神谷 特開2022-2757[特許文献3] プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 特開 2016-205391

関連文献

 :

[非特許文献1] J. Kamiya, J. Vac. Sci Technol. A33, 031605 (2015).

公開特許公報

 :

P53580A.pdf

特許公報

 :

開放特許情報
データベース

 :

広報プレスリリース

 :

論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

Access

From 2021.3.1

 :

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