XPS studies on the charge states of Cr and Cu atoms implanted into -AlO and MgO single crystals

二神 常爾*; 青木 康; 依田 修; 永井 士郎; D.M.Rueck*

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 80-81, p.1168 - 1170, 1993/00

https://doi.org/10.1016/0168-583X(93)90757-W

-アルミナおよび酸化マグネシウムの単結晶に200keVおよび300keVのCrあるいはCuを注入してXPSスペクトルを測定した。スペクトルの深さ分布の解析から、Crの濃度は注入Cr原子の濃度と共に増加するのに対し、Crの濃度は注入Cr原子の濃度が高くなると飽和することを見出した。このCr濃度の飽和は、-アルミナ中では濃度比Cr/Alが0.05以上で、一方酸化マグネシウム中では濃度比Cr/Mgが0.30以上で起り、したがってCrは酸化マグネシウム中でより安定に捕捉されることを示した。Cuの存在は酸化マグネシウム中でのみ検出され、Cu/(Cu+Cu)の濃度比は注入Cu原子の濃度と共に減少した。