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論文

Analysis of misoriented crystal structure by ion channeling observed using ion-induced secondary electrons

工藤博*; 坂本昭彦*; 山本春也; 青木康; 楢本洋; 井上知泰*; 佐藤政孝*; 山本康博*; 梅澤憲司*; 関整爾*

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2, 35(11B), p.L1538 - L1541, 1996/11

イオンチャネリング現象がはじまる表面層での、単一散乱条件下での2次電子を検出すると、準表面層の原子配列を高感度に評価可能であることを示している。2次電子は、keVオーダーの内殻に属するものを検出して原子配列の情報とした。実例を示すために、Ni及びCeO $_{2}$ 単結晶について通常のRBS法の場合と対比した。