Surface chemical reactions of Al induced by low-energy D, N, CO, and CO ion bombardment

永井 士郎

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 59-60, p.936 - 939, 1991/00

https://doi.org/10.1016/0168-583X(91)95736-W

アルミニウム表面に対する0.5~4keVのD、N、CO、及びCOイオンの衝撃による化学反応をオージェ電子分光法及び2次イオン質量分析法により追跡した。アルミニウム箔のDイオン衝撃により、AlD、AlD及びAlDが生成した。これら2次イオンはD雰囲気でのArイオン衝撃によっても生成した。2次イオン収量の経時変化及び衝撃雰囲気・温度依存性から、これら2次イオンの生成は、Dイオンによる逐次表面化学反応から生成するアルミニウム重水素化物に起因するものと結論した。一方、Nイオン衝撃による窒化アルミニウムの生成量は、Nイオンのエネルギーに依存した。窒化アルミニウムによって部分的に覆れたアルミニウム表面は酸素との反応性が著しく高いことを見出した。また、COイオンの衝撃によりアルミニウムの炭化物と酸化物が同時に生成するのに対し、COイオンの衝撃では炭化物が選択的に生成した。