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論文

Submicron microbeam apparatus using a single-ended accelerator with very high voltage stability

神谷富裕; 須田保*; 田中隆一

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 104, p.43 - 48, 1995/09

https://doi.org/10.1016/0168-583X(95)00399-1

被引用回数：49 パーセンタイル：96.48(Instruments & Instrumentation)

原研軽イオンマイクロビーム装置が製作され、3MVシングルエンド加速器のビームライン上に設置された。本装置は主にイオンビーム分析のために用いられる。2MeVのヘリウムビームを用いたビームサイズ計測実験において、77pAの電流値で0.40.4m $^{2}$ (半値幅)のビームスポットが得られた。本会議では、軽イオンマイクロビーム装置と加速器システムの概要を述べ、サブミクロン形成のためのビーム光学設計について議論し、ビームサイズ計測について報告する。