Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Hellgren, N.*; Guo, J.*; Luo, Y.*; Sthe, C.*; 安居院 あかね; Kashtanov, S.*; Nordgren, J.*;
gren, H.*; Sundgren, J.-E.*
Thin Solid Films, 471(1-2), p.19 - 34, 2005/01
被引用回数:138 パーセンタイル:96.54(Materials Science, Multidisciplinary)窒化炭素は近年ハードディスクや記録ヘッドなどの材料として着目されている。本研究ではマグネトスパッタ法によって作成した窒化炭素薄膜の電子構造を、軟X線光電子分光,X線吸収分光法,発光分光法によって測定した。これにより、薄膜作成時の温度などの条件で窒素-炭素の結合や、そのマイクロストラクチャーが変化することがわかった。