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論文

IMA-2形日立イオンマイクロアナライザーによる二酸化ウランの二次イオン像の観察

平原 義治*; 柴田 淳*; 柴 是行

Hitachi Sci.Instrum.News, 17(6), p.1537 - 1539, 1974/06

IMAを用いて多結晶二酸化ウランの二次イオン像を観察した結果、SEMによる二次電子像や光顕像にはみられないコントラストが認められた。これは二酸化ウランの結晶方位により二次イオン放出が著しく異なることに起因することを明らかにし、IMAが新しい$エ$ッチング$手$段を提供することを示した。

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