IMA-2形日立イオンマイクロアナライザーによる二酸化ウランの二次イオン像の観察

Secondary ion images of polycraystalline Uranium dioxide using an IMA

not registered; not registered; Shiba, Koreyuki

IMAを用いて多結晶二酸化ウランの二次イオン像を観察した結果、SEMによる二次電子像や光顕像にはみられないコントラストが認められた。これは二酸化ウランの結晶方位により二次イオン放出が著しく異なることに起因することを明らかにし、IMAが新しい$エ$ッチング$手$段を提供することを示した。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	Hitachi Sci.Instrum.News
巻	:	17
号	:	6
ページ数	:	p.1537 - 1539
発行年月	:	1974/06
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キーワード	:	IMA; 二酸化ウラン; 二次イオン像; 多結晶; エッチング; チャネリング

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登録番号 : A19744132
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 4114

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