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村岡 久志*; 柴部 禎巳; 野崎 正*; 奥村 勝弥*
表面科学, 14(5), p.288 - 294, 1993/07
ラジオルミノグラフィは輝尽性蛍光体層をもつイメージング・プレートに放射線画像を記憶させ、読取機でデジタル画像データとしてコンピュータ・ディスクに読み込み、画像化と定量解析をおこなう新しいオートラジオグラフィである。シリコン・ウェーハへのFeとCuの吸着とこれらの吸着不純物にたいするSC-1(NHOH,HO,HO,1:1:5)洗浄の評価にこの方法を適用した。吸着ラジオアイソトープと洗浄後の残存物の分布状態が一目でわかるようになった。ウェーハ上の任意の位置の任意面積のラジオアイソトープ濃度を、検出限界10atom/cmオーダ、ダイナミックレンジ10以上で定量できることがわかった。