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論文

Effects of Pb depositon on pre-covered Ag/Ni(111) surface; Manipulation of growth mode and growth orientation

伊藤 孝彦*; 中西 繁光*; 梅澤 憲司*; 山本 春也; 鳴海 一雅; 楢本 洋

JAERI-Review 99-025, TIARA Annual Report 1998, p.182 - 184, 1999/10

あらかじめAg原子をNi(111)表面に蒸着した系に、さらにPb原子を吸着した場合の表面吸着Ag,Pb原子の再配列の様子を、低速イオン散乱法によって調べ以下の結論を得た。(1)Pbを蒸着すると、Ag原子は2次元配列から、3次元配列へと変化した。方位関係はAg[112]//Ni[112]。一方その間Pbの配列の特性は変化しなかった。(2)高温で熱処理(570$$^{circ}C$$)すると、Agの配列がAg[112]//Ni[112]からAg[112]//Ni[112]へと反転した。

論文

Analysis of misoriented crystal structure by ion channeling observed using ion-induced secondary electrons

工藤 博*; 坂本 昭彦*; 山本 春也; 青木 康; 楢本 洋; 井上 知泰*; 佐藤 政孝*; 山本 康博*; 梅澤 憲司*; 関 整爾*

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2, 35(11B), p.L1538 - L1541, 1996/11

イオンチャネリング現象がはじまる表面層での、単一散乱条件下での2次電子を検出すると、準表面層の原子配列を高感度に評価可能であることを示している。2次電子は、keVオーダーの内殻に属するものを検出して原子配列の情報とした。実例を示すために、Ni及びCeO$$_{2}$$単結晶について通常のRBS法の場合と対比した。

口頭

タングステン表面に注入された不純物元素の深さ分布と化学結合状態に関する研究

上浦 良友*; 梅澤 憲司*; 寺岡 有殿; 吉越 章隆

no journal, , 

2.5keVの運動エネルギーを持つ窒素イオンビーム(N$$^{+}$$, N$$_{2}$$$$^{+}$$)を薄い酸化膜を有する多結晶W表面に室温にて照射した。イオンビーム照射後のWの変性層の組成や化学結合状態の深さ方向分析を、SPring-8のBL23SUに設置されている表面反応分析装置で光電子分光測定を行った。窒素イオンビームを注入条件(2$$times$$10$$^{16}$$ions/cm$$^{2}$$)で入射したW表面におけるW4fスペクトルを592eVの放射光を光源として測定した。金属のW4f$$_{7/2}$$, W4f$$_{5/2}$$、及び、それらの表面酸化物に由来する2つのピークのほか、-W-N-結合由来のピークも混在していることが示唆された。同時に測定したN1sスペクトルにも高結合エネルギー側でケミカルシフトが生じた。これはバルク側でより顕著であった。これは窒素原子がより深い位置に達していることを表している。

口頭

タングステン表面に注入された不純物窒素の化学状態と深さ分布計測

上浦 良友*; 梅澤 憲司*; 寺岡 有殿; 吉越 章隆

no journal, , 

高速の原子・分子イオンビーム装置を利用して窒素イオンビームをタングステンなどの金属に照射することで、プラズマのチャンバー内壁材料にプラズマからの不純物高速粒子で材料表面に形成される変性層(サブサーフェイス)の形成を模擬し、放射光を利用した高分解能光電子分光法により変性層の化学結合状態と組成の深さ方向分析を試みた。

口頭

$$^{12}$$Cをイオンビーム注入したW表面に関する研究

梅澤 憲司*; 上浦 良友*; 寺岡 有殿; 吉越 章隆; Harries, J.

no journal, , 

プラズマプロセスの分野では、プラズマ誘起サブサーフェイス(表層)科学の研究に大きな注目が集まっている。本研究では質量分離した6keVの運動エネルギーを持つ炭素を含んだ低エネルギー原子・分子(イオン)ビームを活用し、タングステンに照射して、プラズマによる表層の変性を実験室で模擬した。その表面を大型放射光施設SPring-8の原子力機構専用軟X線ビームラインの高輝度・高分解能放射光を活用して光電子分光観察することで、表層の化学結合状態の深さ方向分析を主に行った。

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