Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
竹井 敏*; 大島 明博*; 市川 拓実*; 関口 敦士*; 柏倉 美紀*; 古澤 孝弘*; 田川 精一*; 大山 智子; 伊都 将司*; 宮坂 博*
Microelectronic Engineering, 122, p.70 - 76, 2014/06
被引用回数：24 パーセンタイル：76.64(Engineering, Electrical & Electronic)環境に配慮した電子線リソグラフィ技術を確立するため、バイオマス由来の糖レジストを開発した。石油由来ではなく、また、アルカリ水溶液や有機溶媒を用いて現像する既存のレジストと違い、水で現像できることが大きな特徴である。75keVの電子線描画装置を用いて加工特性を評価したところ、50-200nmのライン加工に要する照射線量は約7
C/cm
と低く、化学増幅型レジストと比較しても非常に高い感度を示すことが分かった。開発した糖レジストは23
Cの室温環境で純水に60秒浸漬することで現像でき、ドライエッチング耐性(CF
ガス)も十分にあることが確認された。
濱田 一弥; 加藤 崇; 河野 勝己; 本田 忠明*; 種田 雅信*; 関口 修一*; 今橋 浩一*; 大都 起一*; 田尻 二三男*; 大内 猛*; et al.
低温工学, 33(7), p.467 - 472, 1998/00
SEMSモデル・コイルは、強制冷凍型導体を使用した4層ダブルパンケーキのコイルで、全質量は4.5トンである。ITER CSモデルコイル用に開発された冷凍機を用いて、コイルに過大な熱歪みを加えぬよう感度制御しながら初期冷凍を行い、目標である10日以内に初期冷凍を終了した。熱負荷を測定したところ、7.5Wであり、設計値と比較して同程度であった。
中嶋 秀夫; 檜山 忠雄; 加藤 崇; 河野 勝己; 礒野 高明; 杉本 誠; 小泉 徳潔; 濱田 一弥; 布谷 嘉彦; 松井 邦浩; et al.
Fusion Technology, 30, p.1248 - 1252, 1996/12
原研では、ITER工学R&Dの一環として、CSモデルコイルを試験するための試験装置を建設した。本装置では、1995年10月までに、コンピュータ・システムを除くすべてについて性能試験が完了した。例えば、液化システムにおいては、801l/hの液化能力、液化能力114l/hのもとでの冷凍能力5.03kWを達成し、ITER実機で必要とされる液化システム開発における中間目標を実証した。本報告では、試験装置全般の建設と性能試験結果について報告する。
花島 進; 荘司 時雄; 塩崎 康男*; 斉藤 基*; 大金 康夫*; 関口 智*
Proc. of the 9th Symp. on Accelerator Science and Technology, p.86 - 88, 1993/00
原研タンデムではマルチマクロプロセッサによる並行処理コンピュータを中心とした新しい制御システムを開発し、旧来のミニコンピュータを中心としたシステムをおきかえ現在運用中である。本報告ではシステムの基本思想、開発における問題点、現状の問題点及び今後の課題について報告する。
花島 進; 荘司 時雄; 塩崎 康男*; 斎藤 基*; 大金 康夫*; 関口 智*
Transputer/Occam Japan 5, p.69 - 81, 1993/00
トランスピュータは並行処理技術の利用を身近なものにしている。原研タンデムではトランスピュータと並行処理技術による新しい制御システムを作り実用化した。このシステムでは制御のデータ点の扱いが高水準に一般化され、個々のデータ点へのアクセスはすべてプロセス間のメッセージ交換により行なわれる。任意のプロセス間の通信を動的に行うために、通信は特別な「モニター」と呼ぶプロセスを介して行なわれる。実際の運用で、システムは信頼性よく動いた。しかし、モニターのメッセージ転送能力は当初の目標に至らなかった、今後の課題であろう。
岡田 智行*; 飯塚 正英*; 長谷 純宏; 野澤 樹; 鳴海 一成; 関口 政行*
no journal, ,
オステオスペルマムは南アフリカ原産のキク科多年草であり、花壇苗や鉢花として人気が高まっている品目である。われわれは、イオンビーム照射による人為的突然変異誘発を利用して、交配や枝変わりの選抜などの通常の育種法では得られない形質を獲得し、品種化に成功した。本発表では、イオンビーム照射により得た変異体に再度イオンビームを照射することで、1度目の照射では得られない形質を持った変異体を獲得でき、実用品種の開発に成功したことについて報告する。イオンビーム照射により育成した品種"ヴィエントフラミンゴ"の葉片培養物に対して炭素イオンを照射した。獲得した249個体の再生個体のうち14個体が花色に変異を示した。このうち、赤橙色系及び黄色系の変異株について慣行栽培した結果、変異形質が安定していることを確認した。また、花形や草姿、草丈などの形態的特性並びに開花時期などの生理的特性については親品種である"ヴィエントフラミンゴ"と差異が見られず、イオンビーム照射によって花色に関して限定的な変異が起きたことが示唆された。
高附 巧*; 堤 智昭*; 松田 りえ子*; 岡野 和史*; 亀谷 宏美*; 等々力 節子*; 菊地 正博; 後藤 浩文*; 関口 正之*; 原 英之*; et al.
no journal, ,
照射食品の検知法として熱ルミネッセンス法とアルキルシクロブタノン法が通知されている。しかし、乾燥果実及び貝では、鉱物や脂肪の採取が困難なため、他の原理に基づく検知法として電子スピン共鳴(ESR)法をこれらの試料に対して検討した。糖結晶及び貝殻に生成したラジカルは比較的安定であるため、これらを含む乾燥果実及び貝がESR法の対象となる。本研究では種々の乾燥果実及び貝を対象に、試料数を増やして本法の検知性能について検証した。乾燥果実は糖結晶を多く含む部位、貝は粉砕した貝殻を測定部位とし、乾燥させた後、ESR測定した。照射の判定はESRのスペクトル形状から求めたg値又は線幅により行った。g値及び線幅が示した範囲内であった場合、照射と判定すると、乾燥果実3種及び貝2種では、照射に由来するラジカルのピークが認められ、すべて照射と判定された。この方法で未照射試料は、すべて未照射と判定された。6か月間保存した試料でも照射の判定は正しく行え、ラジカルの減衰に伴う誤判定は生じなかった。以上の結果より、本法で乾燥果実及び貝における照射の有無の判定が照射後6か月までは可能と考えられた。
長嶋 浩司*; 山口 智輝*; 滝井 啓太*; 関口 賢治*; 三枝 幹雄*; 小田 靖久; 福成 雅史*; 坂本 慶司
no journal, ,
大電力ミリ波帯高速スイッチの高周波特性について電磁界解析コードXFdtdにより数値シミュレーションを行った。その結果、共振器長を長くすれば、20MHz程度の周波数変調でスイッチが切り替わることが確認された。また、位相補正鏡の検討を行い、モード純度が切り替え特性に与える影響について評価を行った。以上を総合し、高周波特性の最適設計を行った。
滝井 啓太*; 山口 智輝*; 長嶋 浩司*; 関口 賢治*; 三枝 幹雄*; 小田 靖久; 福成 雅史*; 坂本 慶司
no journal, ,
大電力ミリ波帯高速スイッチの損失評価をFDTD法に基づく電磁界解析コードを開発して行い、特に発熱が大きいハーフミラーに関して熱応力解析を行った。
関口 健太郎; 神野 智史*; 田中 宏尭*; 一ノ瀬 紘佑*; 金崎 真聡*; 榊 泰直; 近藤 公伯; 松井 隆太郎; 岸本 泰明; 福田 祐仁
no journal, ,
光散乱強度の角度分布データから散乱粒子の粒径分布を得る問題は代表的な逆問題であり、分布関数の形状に特別な仮定を置くことなく安定な解を得るためには、不安定性を引き起こす要因とその影響を精度よく評価することが必要である。本研究では、Mie散乱理論を使って我々が開発したアルゴリズムを用いて、複数の異なる粒径分布を与え得る系を扱う場合の解の不安定要因について検討する。数値解析上の技法の精査と並行して、引き続き実験条件の制御によって評価を行うアプローチを採る。
田中 宏尭; 神野 智史*; 金崎 真聡*; 関口 健太郎; 一ノ瀬 紘佑*; 榊 泰直; 近藤 公伯; 松井 隆太郎; 岸本 泰明; 福田 祐仁
no journal, ,
高繰り返し超高純度陽子線源のための新たなターゲットとして、サブミクロンサイズの水素クラスターターゲットの開発に着手し、これまでに、半径200
1000nmの水素クラスターの生成を示唆する結果を得ている。水素クラスターのサイズ計測には、Mie散乱を用いたサイズ評価を実施している。しかし、ここでは、計測誤差を含む散乱光強度の角度分布と(装置関数が考慮されていない)Mie散乱理論値を用いて作成された応答関数を用いて逆問題を解き、水素クラスターサイズ分布を求めるため、得られるサイズ分布もエラー成分を含むものとなり、現実にどのサイズのクラスターが生成されているのかを正確に判断するのは容易ではない。そこで、本研究では、サイズ既知の標準サンプルを用いて、適切な応答関数作成方法の検討を行った。
