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田川 雅人*; 浅田 英俊*; 松浦 義光*; 横田 久美子*; 寺岡 有殿; 北村 明*; Fontaine, J.*; Belin, M.*
no journal, ,
水素化ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の新しい室温デポジション技術が超熱エネルギーの炭化水素ビームを用いて開発された。ビームエネルギーとイオン成分比率の異なる4種類のメタン分子ビームを準備して形成したDLC薄膜をラマン散乱,ラザフォード後方散乱,放射光光電子分光などのさまざまな表面分析方法で評価した。その結果、20-30%水素化されたDLC薄膜がメタンを用いてデポジションできることがわかった。また、イオン成分の多いメタンビームでデポジションしたDLC薄膜は良好な摩擦特性を示すこともわかった。