Hyperthermal molecular beam deposition of DLC using laser-induced detonation phenomena

レーザー誘起デトネーション現象を用いた超熱エネルギー分子ビームによるDLCのデポジション

田川 雅人*; 浅田 英俊*; 松浦 義光*; 横田 久美子*; 寺岡 有殿; 北村 明*; Fontaine, J.*; Belin, M.*

Tagawa, Masahito*; Asada, Hidetoshi*; Matsuura, Yoshimitsu*; Yokota, Kumiko*; Teraoka, Yuden; Kitamura, Akira*; Fontaine, J.*; Belin, M.*

水素化ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の新しい室温デポジション技術が超熱エネルギーの炭化水素ビームを用いて開発された。ビームエネルギーとイオン成分比率の異なる4種類のメタン分子ビームを準備して形成したDLC薄膜をラマン散乱,ラザフォード後方散乱,放射光光電子分光などのさまざまな表面分析方法で評価した。その結果、20-30%水素化されたDLC薄膜がメタンを用いてデポジションできることがわかった。また、イオン成分の多いメタンビームでデポジションしたDLC薄膜は良好な摩擦特性を示すこともわかった。

New room-temperature deposition technology of a hydrogenated diamond-like carbon (DLC) film was developed with hyperthermal hydrocarbon beams. Four CH molecular beams with different beam energy and ion composition were prepared and deposited DLC films were evaluated by various surface analytical methods including Raman spectroscopy, RBS and SR-PES. It was found that hydrogenated (20-30%) DLC films can be deposited with use of CH as a source gas. It was also shown that the DLC film deposited with a CH beam including relatively high ion component exhibit better tribological properties.