Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
永野 幹典*; 山家 史也*; 山崎 大; 丸山 龍治; 林田 洋寿; 曽山 和彦; 山村 和也*
Journal of Physics; Conference Series, 340(1), p.012034_1 - 012034_6, 2012/02
J-PARCにおける大強度パルス中性子の高度利用を目指して、中性子集光スーパーミラーの開発を行っている。本研究は、中性子基盤セクションで開発されたイオンビームスパッタ法によるNiC/Ti多層膜形成技術と、大阪大学が開発した数値制御ローカルウエットエッチング法(Numerically controlled local wet etching (NC-LWE))による形状創成技術を適用して、精密表面形状をもつ非球面スーパーミラーを開発するものである。本報告では、長さ400mmの石英ガラス基板を用いNC-LWE法により表面粗さ0.2nmの楕円筒形状を構築し、これにNiC/Tiスーパーミラーを成膜して1次元楕円集光ミラーを試作した。そしてJ-PARC/MLFのNOBORU(BL10)における中性子集光特性測定の結果、中性子集光スポット半値幅0.128mm、中性子集光ゲイン52倍を達成した。
山崎 大; 丸山 龍治; 林田 洋寿; 曽山 和彦; 永野 幹典*; 山家 史也*; 山村 和也*
no journal, ,
NC-LWE法と表面研磨を組合せた石英基板表面の形状創成と高性能スーパーミラー成膜により、400mmL
100mmWの1次元楕円型スーパーミラーを開発した。J-PARC BL10(NOBORU)における集光特性測定では、波長3.5
以上の中性子の集光に成功し、集光サイズ0,20mm,ピーク強度ゲイン52を達成した。また、表面形状測定の結果ミラー成膜後でも楕円表面の形状誤差は3
m(PV)以下,表面粗さは0.2nm(RMS)程度に抑えられており、400mm長さでも非常に高い形状精度を維持していることがわかった。これまでの開発により、mオーダーの1次元集光が可能となった。さらにこれを2枚組合せたKB配置により、2次元集光も可能である。これらの集光ミラーにより、中性子斜入射小角散乱(GISANS),角度分散型中性子反射法,微小試料又は微小領域の散乱実験・分析測定などが可能になると期待される。
山崎 大; 丸山 龍治; 林田 洋寿; 曽山 和彦; 永野 幹典*; 山家 史也*; 山村 和也*
no journal, ,
数値制御ローカルウェットエッチング法と表面研磨を組合せた石英基板表面の形状創成と高性能スーパーミラー成膜により、400mmL100mmWの1次元楕円型スーパーミラーを開発した。ミラー形状は長手方向400mmにわたって楕円,幅方向100mmにわたっては平板である。J-PARC BL10(NOBORU)における集光特性測定では、波長3.5以上の中性子の集光に成功し、集光サイズ0.20mm.ピーク強度ゲイン52を達成した。また、表面形状測定の結果ミラー成膜後でも楕円表面の形状誤差は3m(PV)以下、表面粗さは0.2nm(RMS)程度に抑えられており、400mm長さでも非常に高い形状精度を維持していることがわかった。押付け・接着法によっても第1段階として400mmL35mmWの1次元楕円集光ミラーを試作している。この形状測定及び集光特性測定の結果については講演にて報告する。
