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研究開発報告書類（JAEA-Research等）学会誌等掲載論文口頭発表特許

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論文

RHEED observation of BaTiO thin films grown by MBE

米田安宏; 阪上潔*; 寺内暉*

Surface Science, 529(3), p.283 - 287, 2003/04

https://doi.org/10.1016/S0039-6028(03)00361-3

被引用回数：8 パーセンタイル：42.20(Chemistry, Physical)

強誘電体であるチタン酸バリウム薄膜を厚さ10モノレイヤーでチタン酸ストロンチウム基板上にMBEを用いて作製した。作製は同時蒸着と交互蒸着の2種類の方法で行った。成長中はRHEED観察によって薄膜がエピ成長していることを確認し、成長後はX線回折によって、良質の単結晶薄膜であることを確かめた。