Dose and microstructural effects on surface topography change and sputtering yield in polycrystalline molybdenum bombardment with 2keV Ne ions

山田 礼司; 西堂 雅博; 曽根 和穂; 大塚 英男

Journal of Nuclear Materials, 82(1), p.155 - 162, 1979/00

https://doi.org/10.1016/0022-3115(79)90048-5

2KeV Neイオンを用いて、多結晶モリブデンのスパッタリング収率の測定及び表面形状変化を観察した。その際に用いたモリブデンは3種で、サンプル製作法による効果もあわせて調べた。それによれば、照射量が増加するに従いモリブデン試料表面には、局在化した円維状のコーンが発生した。それらの分布は、サンプル製作法に強く依存した。照射前の試料の化学エッチングにより見出されるエッチピットの分布の関連性から、コーン生成の機構について論じた。表面形状が著しくサンプル製作法に依存するにもかかわらず、巨視的なスパッタリング収率(重量法で求めた。)はサンプル作成法にはよらず、Ne2keVイオン重直入射の場合0.900.10atoms/ionの値を得た。