イオン注入その場電顕観察法によるカーボンオニオンの核形成・成長過程

Nucleation and growth of carbon onions by means of simultaneous electron microscopic observation under ion implantation

阿部 弘亨; 山本 春也; 宮下 敦巳

Abe, Hiroaki; Yamamoto, Shunya; Miyashita, Atsumi

オニオン大量生産に着目した研究を行い、高温イオン注入法を開発した。TIARAのイオン注入装置とロス・アラモス国立研究所のイオン加速器を利用し、5701070Kにおいて100及び160keVの炭素イオンを銅に注入した。イオン注入組織の電顕観察を行い、オニオンと中空カプセルを観察した。形成量を温度などの照射因子で調べ、サイズや形成条件の最適化を行った。生成量は温度に依存せず、約0.1mgであった。温度や注入量依存性等からオニオンとカプセルが2種類の異なる過程を経て形成されるということがわかり、これらは電顕内イオン注入実験によるその場観察によって確かめられた。結晶性の良い大きなオニオンの生成には放射線照射法のみが有効であることが示された。

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