Total-electron-yeild X-ray standing wave measurements of multilayer X-ray mirrors

全電子収量法を用いたX線多層膜ミラーのX線定在波測定

村松 康司; 竹中 久貴*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*

Muramatsu, Yasuji; Takenaka, Hisataka*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*

X線多層膜ミラーの層構造及び界面粗さの情報を得ることを目的として、全電子収量法を用いたX線定在波スペクトルを測定した。Mo/SiC/Si多層膜ではブラッグ反射に対応した定在波ピークが明瞭に観測され、アニールによる層構造の乱れが示唆された。また、本法はその簡便な測定原理のため、(1)反射率との同時測定が可能であり、(2)二次元マッピングによる層構造の均一性について可視化できるという特長を有することを示した。そのほか、酸素置換基を有する多環芳香族分子の吸収スペクトル測定,多孔質カーボン中の酸素のX線発光吸収スペクトル測定,キュービックシリコンの電子構造解析,DNA関連分子のX線発光吸収スペクトル,発光過程を識別した蛍光収量X線吸収スペクトル測定方法について解説した。

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