CCDカメラによる軟X線発光分光

Soft X-ray emission spectroscopy employing CCD camera

装置の小型化,検出効率の向上,時分割測定の可能性などを目指し、軟X線用CCD検出器を搭載した装置(ローランド円半径1m,エネルギー分解能500~1500,エネルギー範囲60~1500eV)を製作し、性能を評価した。試料から入射スリットまでの距離が13cmであったにもかかわらず金属,酸化物,グラファイト,Si半導体などからの軟X線発光について、3~30分計測でS/Nの良好なスペクトルを取得できた。Si単結晶については、Ar照射した試料のSi L $_{2,3}$ スペクトルを測定・解析し、結晶性のキャラクタリゼーションに応用できることを示した。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	表面科学
巻	:	22
号	:	10
ページ数	:	p.43 - 50
発行年月	:	2001/10
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キーワード	:	Soft X-ray Emission Spectroscopy; CCD; Resonant Inverse Photoemission; Soft X-ray; Detector; Graphite; Si

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登録番号 : A20010029
抄録集掲載番号 : 300083
論文投稿番号 : 18693

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