直流アーク放電型プラズマ中性化セルの開発

Development of plasma neutralizer using DC arc discharge

柏木 美恵子; 奥村 義和; 花田 磨砂也; 森下 卓俊; 渡邊 和弘; 折田 善崇*; 堀池 寛*; 井門 俊治*

Kashiwagi, Mieko; Okumura, Yoshikazu; Hanada, Masaya; Morishita, Takatoshi; Watanabe, Kazuhiro; Orita, Yoshitaka*; Horiike, Hiroshi*; Ido, Shuji*

負イオンビームを用いた中性粒子入射装置の高効率化にために、中性化効率が60%である現在のガス中性化セルに対し80%以上となるプラズマ中性化セルの開発が重要である。本研究ではプラズマ中性化セルの実現に向けて、アーク放電型の円筒形多極磁場型大容量プラズマ源(長さ2000mm直径600mm)を設計製作し、プラズマ生成実験を行った。プラズマの閉じ込め性能比較のために小型の円筒形プラズマ源での試験も実施した。その結果、閉じ込め性能の高いプラズマ源では低ガス圧で電離度の高いプラズマが得られることが確認され数値解析による傾向と一致した。さらに高電離プラズマ生成を目指してアルゴンプラズマ生成実験を行い、中性化実験に必要な電離度(10%)とプラズマ線密度(4.510cm)を得た。また、アークパワー30kW,0.027Paにおいて17%の電離度を得た。

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