多層膜における全電子収量X線定在波法を用いた層構造の面内分布測定の試み

Evaluation methods of interlayer-structure-distribution in multilayers by total-electron-yield X-ray standing wave measurements

村松 康司; 竹中 久貴*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*

Muramatsu, Yasuji; Takenaka, Hisataka*; Gullikson, E. M.*; Perera, R. C. C.*

X線多層膜ミラーの層構造及び界面粗さの情報を得ることを目的として、全電子収量法を用いたX線定在波スペクトル測定法を提案した。本法を用いたMo/SiC/Si多層膜の測定では、ブラッグ反射に対応した定在波ピークが観測され、そのスペクトル形状変化からアニール処理による層構造の乱れが示唆された。また、本法はその簡便な測定原理から反射率と定在波の同時スペクトル測定が可能であり、かつ二次元マッピング測定から層構造の面内分布情報を可視化して表示することも可能である。以上から、X線多層膜ミラーの層構造評価方法として本法が有効であることを示した。

no abstracts in English