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Importance of relativistic effect on inelastic scattering cross-sections for quantitative microanalysis

非弾性散乱断面積における相対論効果の重要性

倉田 博基; P.Wahlbring*; 磯田 正二*; 小林 隆史*

Kurata, Hiroki; P.Wahlbring*; Isoda, S.*; Kobayashi, Takashi*

電子エネルギー損失分光法を用いて、微小領域の定量分析を行う場合、電子の非弾性散乱断面積の正確な値が必要となる。入射電子のエネルギーが400keV以上になると断面積に対する相対論効果が顕著になる。このような効果はこれまで理論的に予測はされていたものの、実験的に確かめられた例はなかった。本論文では、超高圧電子顕微鏡とエネルギーフィルター法を複合することにより、相対論効果を直接検証したものである。理論予測の正しさを実証するとともに、定量分析に応用されている場合の重要性が議論された。

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分野:Microscopy

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