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Development of a compact atomic beam flux monitor based on surface ionization

表面電離による小型原子ビーム量検出器の開発

田村 浩司; 岡崎 哲治; 足立 肇; 柴田 猛順; 大場 弘則

Tamura, Koji; not registered; Adachi, Hajime; Shibata, Takemasa; Oba, Hironori

表面電離を用いた小型原子ビーム検出器を試作した。その特性をさまざまな希土類元素(Ce,Nd,Sm,Dy,Yb)を用いて調べた。いずれの元素においても原子ビーム量とイオン電流量に比例領域があり、本検出器によりこれら希土類原子ビーム量測定が可能であることがわかった。Nd,Sm,Dy,Ybでは蒸着速度100~200$AA/s$以上のビーム量まで評価可能であった。Ceについては蒸着速度が30$AA/s$を越えるとイオン電流に飽和傾向が見られた。これはCeの蒸気圧が低いため、Ce原子がフィラメントから十分速く離脱せず、Ce原子のフィラメントへの被覆によるものと考えられる。このことから、計測できる原子ビーム量は、原子のフィラメントへの被覆により制限されることがわかった。

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分野:Physics, Applied

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