検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Resonant Auger electron spectroscopy for analysis of the chemical state of phosphorus segregated at SiO$$_{2}$$/Si Interfaces

SiO$$_{2}$$/Si界面に析出したリンの共鳴オージェ電子分光

尾嶋 正治*; 吉村 裕介*; 小野 寛太*; 藤岡 洋*; 佐藤 芳之*; 馬場 祐治  ; 吉井 賢資  ; 佐々木 貞吉

Oshima, Masaharu*; not registered; Ono, Kanta*; Fujioka, Hiroshi*; not registered; Baba, Yuji; Yoshii, Kenji; Sasaki, Teikichi

P-型Si(100)にリンを300keVでイオン注入した後、800$$^{circ}$$Cに加熱することによりSiO$$_{2}$$/Si界面に析出したリン原子の存在状態を共鳴オージェ電子分光法により調べた。絶縁体における共鳴オージェ電子スペクトルは、ノーマルオージェとスペクテータオージェに分裂するとともに、スペクテータオージェピークのエネルギーシフトが観測される。しかしSiO$$_{2}$$/Si界面に析出したリンでは、スペクテータオージェピークは観測されなかった。このことからリン原子はSiO$$_{2}$$サイトではなく、Siサイトに存在していることが明らかとなった。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:26.37

分野:Spectroscopy

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.