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Cavity formation in single crystal Al$$_{2}$$O$$_{3}$$ irradiated with triple beams of O,H and He ions

トリプルビーム(O,H及びHeイオン)照射したAl$$_{2}$$O$$_{3}$$のキャビティ形成挙動

片野 吉男; 北條 喜一; 中沢 哲也; 八巻 大樹; 有賀 武夫; 野田 健治

Katano, Yoshio; Hojo, Kiichi; not registered; Yamaki, Daiju; Aruga, Takeo; Noda, Kenji

酸化アルミニウム(Al$$_{2}$$O$$_{3}$$)におけるH及びHe原子とによるキャビティ形成挙動を調べる目的からH,He及びOイオンを同時照射し、損傷組織を入射イオンの深さ方向からの関数として評価した。照射温度650$$^{circ}$$Cでトリプル(0.25MeV-H,1.1MeV-He,2.4MeV-O)イオンビームを同時照射した結果、深さ1.4-1.8$$mu$$m及び2.2-2.5$$mu$$mの二つの領域で、それぞれ平均=20及び8nmの大きさのキャビティが3$$times$$10$$^{22}$$/m$$^{3}$$並び2$$times$$10$$^{23}$$/m$$^{3}$$の数密度で形成した。これは計算で求めたO-HとHイオン飛程の領域で、良い一致を示した。さらに、O-Hイオン飛程近傍では不規則なキャビティの分布を持って観察された。この領域(1.5$$mu$$m)は、損傷が最も受けたと予測される領域で、格子間原子の集合体(転位ループ)の密度が希薄になる傾向を示した。これは、H原子と格子間原子との相互作用がHe原子と比べ弱いため、転位の発達及びキャビティ形成が促進されたものと考えられる。この結果、Al$$_{2}$$O$$_{3}$$中でのH及びHe原子によるキャビティ形成挙動が大きく異なることが判った。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

巻

 :

141

号

 :

1-4

ページ数

 :

p.411 - 418

発行年月

 :

1998/00

発表会議名

 :

Radiation Effects in Insulators-9 (REI-9)

開催年月

 :

1997/09

開催都市

 :

America

開催国

 :

キーワード

 :

セラミックス; 酸化アルミニウム; 照射効果; イオン照射; 電子顕微鏡; 微細組織

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

 :

https://doi.org/10.1016/S0168-583X(98)00192-X

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

 :

広報プレスリリース

 :

論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

Access

 :

- Accesses

InCites™

 :

パーセンタイル：49.22

分野：Instruments & Instrumentation

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