films by RBS/channeling膜の構造評価Yamamoto, Shunya; Yamaki, Tetsuya; Naramoto, Hiroshi; Tanaka, Shigeru
光触媒材料である二酸化チタン(TiO)は、遷移金属をドープすることにより光学的特性が変化し、光触媒性の向上も期待される。本研究では、パルスレーザー蒸着法を用いてCr, Nb, Ta, Wをドープしたルチル及びアナターゼ構造の高品質なTiO単結晶膜の作製を試み、成膜条件や蒸着後の熱処理などの条件を明らかにした。作製した膜の構造評価は、X線回折とラザフォード後方散乱/チャネリング法を用いた。その結果、0.2~1.5 at.%の濃度でドープした金属原子が格子位置を占めたルチル及びアナタ-ゼ型のTiO単結晶膜の作製に成功した。また、SrTiO
(001), LaAlO(001)基板上に成長させたアナターゼ型TiOの熱的安定性を調べた結果、約1000
Cまでアナターゼ構造を保持することがわかった。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 206 |
号 |
: | 1-4 |
ページ数 |
: | p.268 - 271 |
発行年月 |
: | 2003/05 |
発表会議名 |
: | 13th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 2002) |
開催年月 |
: | 2002/09 |
開催都市 |
: | Kobe |
開催国 |
: | Japan |
キーワード |
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論文URL |
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使用施設 |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：64.66 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
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