Heavy ion track microfilter of polyimide film

重イオン照射によるポリイミド多孔膜形成について

Komaki, Yoshihide; Matsumoto, Yasuyo*; not registered; Sakurai, Tsutomu

加速エネルギー180MeVのCuイオン照射後、100 $^{circ}$ Cの飽和液にてエッチングし、ポリイミド多孔膜形成を確認した。エッチング8時間後、0.2m径の円孔が電顕下で認められた。孔数は210 $^{8}$ /cm $^{2}$ であり、イオン電流値とほぼ一致し、調節容易であることが分った。本法によれば、任意の孔数と孔径の、耐熱性に優れたポリイミド受孔膜が形成できることになる。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Polym. Commun.
巻	:	30
号	:
ページ数	:	p.43 - 44
発行年月	:	1989/02
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キーワード	:	Polyimide

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登録番号 : A19880159
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9355

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