鉄(III)オキサラト化学光量計によるエキシマレーザーの光量測定(エキシマレーザーの化学的光量測定)

Actinometry of an excimer laser with a ferrioxalate chemical actinometer

泉 佳伸*; 江間 喜美子*; 山本 忠史*; 河西 俊一; 清水 雄一; 杉本 俊一; 鈴木 伸武

not registered; not registered; not registered; Kawanishi, Shunichi; Shimizu, Yuichi; Sugimoto, Shunichi; Suzuki, Nobutake

高強度紫外光であるエキシマレーザー光の光量測定への鉄(III)オキサラト化学光量計の適用性について検討した。ArF,KrFおよびXeFエキシマレーザー光に対して、パルス当たりの光子数Nは、発色後の光量計溶液の510nmでのパルス当たりの吸光度変化Aを用いて一次式N=a・A-bで表せることが分かった。この一次式からのデータのばらつきはArF,KrFおよびXeFエキシマレーザー光についてそれぞれ4.8%,5.2%および1.6%であり、鉄(III)オキサラト化学光量計を利用したエキシマレーザーの光量測定法が精度の高い優れた方法であることを明らかにした。

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