Enhancement of electron temperature in a laser-induced plasma using a radio-frequency electric field

高周波電場によりレーザー励起プラズマの電子加熱

大図 章  ; 鈴木 庸氏; 丸山 庸一郎; 有澤 孝

Ozu, Akira; Suzuki, Yoji; Maruyama, Yoichiro; Arisawa, Takashi

原子法レーザー同位体分離のレーザー誘起プラズマからのイオン回収過程では、イオンを電極上に回収することが重要となる。これを行うために電極に印加する電圧は、高電圧が必要となる。しかし、高電圧の回収には、電力コストの増大とスパッタリングの増加の問題が出てくる。レーザー誘起プラズマからイオンを高速に回収するために高電圧が必要な理由は、そのプラズマが低温であるためである。イオン回収は、プラズマの電子温度に大きく依存する。低電圧で効率良くイオン回収を行うためにレーザー誘起プラズマを高周波電場で加熱してプラズマ中の電子温度を増加させる試験を行った。その結果、電子温度は通常の約3倍に増加することがわかった。

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