Enhancement of ion extraction from a cold plasma with radio-frequency plasma heating

高周波加熱によるレーザー誘起プラズマからのイオンフラックスの増加

大図 章  ; 鈴木 庸氏; 丸山 庸一郎; 有澤 孝

Ozu, Akira; Suzuki, Yoji; Maruyama, Yoichiro; Arisawa, Takashi

原子法レーザー同位体分離のレーザー誘起プラズマからのイオン回収過程では、イオンを電極上に高速で回収することが重要となる。これを行うためには通常高電圧を必要とする。しかし、回収に費やす電力の増加とスパッタリングの増大を引き起こしやすくなる。高電圧が必要な理由は、レーザー誘起プラズマが低温のためである。低電圧でイオンを高速で回収するために、高周波でプラズマを加熱し回収する方法を開発した。その結果、回収時間を通常の3分の1にまで短縮することができた。さらに、高周波の入力、周波数に対するイオン回収速度の依存性をも調べることができた。

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