ヘリウムガス雰囲気蒸着による銅フタロシアニン単結晶性薄膜の作製

Fabrication of oriented thin film of copper-phthalocyanine with physical vapor deposition in inert-gas atmosphere

玉田 正男; 越川 博; 細井 文雄; 諏訪 武

Tamada, Masao; not registered; Hosoi, Fumio; Suwa, Takeshi

銅フタロシアニンは光や熱に対して安定であり、雰囲気中のNOガス濃度に依存して電気伝導度が大きく変化することから、ガスセンサー材料として期待されている。本研究では蒸発物質として銅フタロシアニンを用い、重力ベクトルと逆方向及び準方向に蒸着を行い(それぞれを上面及び下面蒸着とよぶ)、作製した薄膜の配向を調べた。下面蒸着では型の(200)面が基板表面に平行に配向した薄膜が得られ、しかも上面蒸着に比較して、より高度に配向していた。このように作製した薄膜の配向に重力の影響があらわれるため、宇宙ステーション取付型実験モジュール利用に備えて、外径29mm、長さ500mmの円柱状の真空容器を作製した。この容器を用いて薄膜を作製した場合においても型フタロシアニンの(200)面が基板表面に対し平行に配向する傾向が認められた。

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