酒井 卓郎; 浜野 毅*; 須田 保*; 平尾 敏雄; 神谷 富裕
not registered; not registered; Suda, Tamotsu*; Hirao, Toshio; Kamiya, Tomihiro
宇宙空間で半導体素子に生ずる、シングルイベント効果等の単一重イオンにより発生する現象を解析するためには、1
m以下の空間分解能で試料の任意の位置にシングルイオンを入射することができる技術を開発する必要がある。これを行うため、重イオンマイクロビームのパルス化を行い、このパルス幅で検出系にゲートをかけて、ノイズの低減を行い、シングルイオンの試料への入射の検知、制御を行う技術を開発した。このシングルイオンヒット技術の精度を固体飛跡検出器で調べた結果と、望遠顕微鏡でシングルイオンを試料上に照準する技術の開発状況について述べた。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
|---|---|---|
掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 130 |
号 |
: | 1-4 |
ページ数 |
: | p.498 - 502 |
発行年月 |
: | 1997/00 |
発表会議名 |
: | 5th Int. Conf. on Nuclear Microprobe Technology and Application |
開催年月 |
: | 1996/11 |
開催都市 |
: | America |
開催国 |
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