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Preparation of TiO$$_{2}$$ nanoparticles by pulsed laser ablation; Ambient pressure dependence of crystallization

レーザーアブレーション法によるTiO$$_{2}$$ナノ微粒子の作製; 生成結晶相の雰囲気ガス依存性

松原 正和*; 八巻 徹也; 伊藤 久義; 阿部 弘亨*; 浅井 圭介*

Matsubara, Masakazu*; Yamaki, Tetsuya; Ito, Hisayoshi; Abe, Hiroaki*; Asai, Keisuke*

KrFエキシマーレーザーを用いたアブレーションによってTiO$$_{2}$$ナノ微粒子を作製した。全圧1Torr以上に保ったO$$_{2}$$とAr混合ガス(O$$_{2}$$:Ar=5:5)中でアブレーションすると、低次酸化物などの不純物の混合がなく、ルチル, アナターゼの両相から成るTiO$$_{2}$$の形成が確認された。ルチル/アナターゼ結晶相の重量分率は、O$$_{2}$$/Arガスの圧力によって制御可能であった。得られたナノ微粒子は球状であり、その粒径もガス圧に依存して10-14nmであった。

Pulsed laser ablation with a KrF excimer laser was used to prepare fine particles of titanium dioxide (TiO$$_{2}$$). The ablation in an atmosphere of Ar and O$$_{2}$$ (5:5) at total pressures of $$geq$$ 1 Torr led to the formation of TiO$$_{2}$$ nanoparticles composed of anatase and rutile structures without any suboxides. The weight fraction of the rutile/anatase crystalline phases was controlled by the pressure of the Ar/O$$_{2}$$ gas. The TiO$$_{2}$$ nanoparticles had a spherical shape and their size, ranging from 10 and 14 nm, also appeared to be dependent on the ambient pressure.

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2

巻

 :

42

号

 :

5A

ページ数

 :

p.L479 - L481

発行年月

 :

2003/05

発表会議名

 :

開催年月

 :

開催都市

 :

開催国

 :

キーワード

 :

Titanium Dioxide (TiO$$_{2}$$); Nanoparticles; Pulsed Laser Ablation; Crystallization; Nanoparticle Deposition

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

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研究データの公開先DOI

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使用施設

 :

TIARA(イオン照射研究施設)

広報プレスリリース

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