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Analysis of transient ion beam induced current in Si PIN Photodiode

Si PINフォトダイオードにおけるイオンビーム誘起過渡電流(TIBIC)解析

小野田 忍; 平尾 敏雄; Laird, J. S.; 岡本 毅*; 小泉 義春*; 神谷 富裕

Onoda, Shinobu; Hirao, Toshio; Laird, J. S.; Okamoto, Tsuyoshi*; Koizumi, Yoshiharu*; Kamiya, Tomihiro

シングルイオン照準照射技術と微弱電流時間分解能計測技術を組合せた、イオンビーム誘起過渡電流(TIBIC:Transient Ion Beam Induced Current)計測システムは、シングルイベント効果を調べるためのツールとして非常に優れており、このシステムを用いて光通信SiPINフォトダイオードのシングルイベント耐性の評価研究を行った。TIARAのタンデム加速器で加速した重イオンを、イオン種,エネルギー,入射角を変えてフォトダイオードに照射し、ダイオード内に発生する過渡電流を系統的に調べ、電荷伝搬挙動のイオン種,エネルギー,入射角度依存性並びにダイオードへの印加電圧依存性を明らかにした。

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分野:Instruments & Instrumentation

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