Ion implantation, ion beam mixing, and annealing studies of metals in Al $_{2}$ O $_{3}$ , SiC and Si $_{3}$ N $_{4}$

Al $_{2}$ O $_{3}$ ,SiC,Si $_{3}$ N $_{4}$ セラミックに対する金属元素のイオン注入、ミキシング及び燃焼鈍効果

B.R.Appleton*; 楢本洋; C.W.White*; O.W.Holland*; C.J.McHargue*; G.Farlow*; J.Narayan*; J.M.Williams*

B.R.Appleton*; not registered; C.W.White*; O.W.Holland*; C.J.McHargue*; G.Farlow*; J.Narayan*; J.M.Williams*

イオンビーム解析法、透過電子顕微鏡観察等を用いて、金属元素イオンビームを注入したAl $_{2}$ O $_{3}$ ,SiC,Si $_{3}$ N $_{4}$ 等のセラミックスの構造解析を行った。熱焼鈍による照射欠陥の回復と注入イオンの母結晶格子中での存在状態の変化を系統的に調べ、機械的性質との対応づけを行った。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	B1
号	:
ページ数	:	p.167 - 175
発行年月	:	1984/00
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開催年月	:
開催都市	:
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キーワード	:	Al $_{2}$ O $_{3}$ ; SiC; Si $_{3}$ N $_{4}$ ; Ion implantation; Ion beam mixing; Thermal annealing

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登録番号 : A19844046
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 6981

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Ion implantation, ion beam mixing, and annealing studies of metals in AlO, SiC and SiN

AlO,SiC,SiNセラミックに対する金属元素のイオン注入、ミキシング及び燃焼鈍効果

Ion implantation, ion beam mixing, and annealing studies of metals in Al $_{2}$ O $_{3}$ , SiC and Si $_{3}$ N $_{4}$

Al $_{2}$ O $_{3}$ ,SiC,Si $_{3}$ N $_{4}$ セラミックに対する金属元素のイオン注入、ミキシング及び燃焼鈍効果