Experimental apparatus to investigate interactions of low energy ions with solid surfaces, 1; Summary of the designs

低エネルギースパッタリング実験装置の設計

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真空壁の表面現象の研究のための実験装置の設計を行った。本装置のイオン源およびビーム輸送系は、0.1~6keVのエネルギー範囲のイオンビームで固体ターゲットの表面を衝撃できるように設計されている。本報告では実験の測定系として使われる測定器の組み合わせおよび真空チェンバー内でのこれらの相互の位置関係について、詳細な図面を示しながら説明を加える。またイオン自身の空間電荷効果が無視できない低エネルギー領域でのイオンビームの輸送系の設計に関する基本的な考え方を説明する。

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使用言語	:	English
報告書番号	:	JAERI-M 6331
ページ数	:	38 Pages
発行年月	:	1975/12
特許データ	:
PDF	:	JAERI-M-6331.pdf:0.72MB
論文URL	:	https://doi.org/10.11484/jaeri-m-6331
キーワード	:	プラズマと真空壁の相互作用; スパッタリング; 再放出; 吸着・吸蔵ガス放出; 後方散乱
使用施設	:
広報プレスリリース	:
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他機関報告書番号	:

Access	:	- Accesses
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登録番号 : M006331
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