島田 義則*; 西村 博明*; 中井 光男*; 橋本 和久*; 山浦 道照*; Tao, Y.*; 重森 啓介*; 奥野 智晴*; 西原 功修*; 河村 徹*; 砂原 淳*; 西川 亘*; 佐々木 明; 長井 圭治*; 乗松 孝好*; 藤岡 慎介*; 内田 成明*; 宮永 憲明*; 井澤 靖和*; 山中 千代衛*
Shimada, Yoshinori*; Nishimura, Hiroaki*; Nakai, Mitsuo*; Hashimoto, Kazuhisa*; Yamaura, Michiteru*; Tao, Y.*; Shigemori, Keisuke*; Okuno, Tomoharu*; Nishihara, Katsunobu*; Kawamura, Toru*; Sunahara, Atsushi*; Nishikawa, Takeshi*; Sasaki, Akira; Nagai, Keiji*; Norimatsu, Takayoshi*; Fujioka, Shinsuke*; Uchida, Shigeaki*; Miyanaga, Noriaki*; Izawa, Yasukazu*; Yamanaka, Chiyoe*
EUV光源として用いられるSnプラズマの基本的な輻射流体力学的な特性を明らかにするために、阪大レーザー研の激光XII号レーザーで球状のSnターゲットを照射し、生成したプラズマからのEUV光のスペクトル,発光強度分布,波長13.5nm領域の2%帯域中の発光強度とその時間変化,変換効率の測定を行った。照射強度5
10
W/cm
において最大効率3%が得られた。変換効率のレーザー強度依存性を等温膨張プラズマを仮定した理論モデルと比較した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 86 |
号 |
: | 5 |
ページ数 |
: | p.051501_1 - 051501_3 |
発行年月 |
: | 2005/01 |
キーワード |
: | EUV; リソグラフィ; Sn; Ti; プラズマ分光; 輻射流体力学; レーザー生成プラズマ; レーザープラズマ相互作用 |
論文URL |
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論文解説記事 |
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受委託・共同研究相手機関 |
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パーセンタイル：94.26 分野：Physics, Applied |
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