Prototype Inverted Sputter Source for Negative Heavy Ions

反転型スパッタ負重イオン源の試作

峰原 英介; 小林 千明; 菊池 士郎

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タングステン線及び円板から成るアイオナイザーを通して負重イオンを引き出すスパッタ・イオン源を製作し、試験を行った。このアイオナイザーから構成されるアルカリ金属表面電離ガンを詳しく記述する。又、このガンとこのガンを用いたスパッタ負重イオン源の性能を報告する。3つのアルカリ金属、ナトリウム、カリウム、セシウムがこのガンで試みられ、1-2mAのカリウム・ビーム電流がマグネットの入口で得られている。負重イオノを引き出す為に試みられた、スパッタ物質とガスは炭素、銅、アルミニウム、モリブデン、酸素及び空気である。炭素と空気の場合、次の分析電流値が得られている。Cについて、2-5-A(ファラディ・カップ)、4.6-11A(出口スリット)、2Cについて3-5A(ファラディ・カップ)、6.8-11A(出口スリット)、、Oについて11-15A(ファラディ・カップ)、25-34A(出口スリット)。入口において全ビーム竃流値は200-400Aである。

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