The Origin of Metal Impurities in DIVA

DIVAにおける金属不純物の発生原因

大麻 和美; 仙石 盛夫; 前田 彦祐; 大塚 英男; 山本 新; 河西 敏; 永見 正幸; 小田島 一男*; 木村 晴行; 下村 安夫

not registered; Sengoku, Seio; not registered; not registered; not registered; not registered; not registered; not registered; not registered; not registered

DIVAにおける金属不純物の発生原因に関する研究の報告である。発生原因としては(1)イオンによるスパッタリング、(2)熱の集中による蒸発、(3)アーキングがあり、特定の条件の下に各々が主原因となっていることを明らかにした。特に、プラズマが定常状態にある時には、不純物イオンによるスパッタリングが主原因であることを示した。実際の装置で使用していたシェル及びProtection plateから切り出したサンプルの表面に、スパッタリングによるcone状の突起は、Auの発光強度の空間分布と良い一致を示した。更にハニカム構造をもつテストシェルを用いることにより、金属不純物の発生量を減少させ得ることを明らかにした。

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