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Growth of ZnO nanorods on Cu implanted substrates

酸化亜鉛ナノロッドの銅イオン注入基板上への成長

武山 昭憲; 山本 春也; 吉川 正人; 伊藤 洋

Takeyama, Akinori; Yamamoto, Shunya; Yoshikawa, Masahito; Ito, Hiroshi

銅イオン注入と熱処理によりピラミッド形状をした銅化合物微粒子を生成させたSi(100)基板上へ、化学気相蒸着法(CVT)によりナノメートルサイズの柱状酸化亜鉛(酸化亜鉛ナノロッド)を成長させた。その結果、直径が約200nmのナノロッドを基板に対してほぼ垂直に成長させることに成功した。さらに単位面積あたりに成長した酸化亜鉛ナノロッドの数は、単位面積あたりに生成した銅化合物微粒子数に比例して増加することから、銅化合物微粒子は酸化亜鉛ナノロッドが成長する際に触媒として機能していると考えられた。

Pyramid shaped Cu precipitates were formed on Si (100) surface as a result of 200 keV Cu ion implantation and subsequent annealing. Then, ZnO nanorods were successfully synthesized on the Cu implanted substrates by chemical vapor transport (CVT). Hexagonal shaped nanorods with a diameter of 200 nm were grown nearly perpendicular to the Cu implanted substrate and their average density was increased as increasing that of Cu precipitates. The facts strongly indicate the Cu precipitates served as the catalytic particles for the growth of ZnO rods.

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分野:Physics, Applied

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