検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Nucleation of oxides during dry oxidation of Si(001)-2$$times$$1 studied by scanning tunneling microscopy

走査型トンネル顕微鏡を用いたドライ酸化によるSi(001)-2$$times$$1面上の核発生の研究

富樫 秀晃*; 朝岡 秀人 ; 山崎 竜也; 末光 眞希*

Togashi, Hideaki*; Asaoka, Hidehito; Yamazaki, Tatsuya; Suemitsu, Maki*

Si(001)面のシリコン酸化膜の制御を可能にするため、1層未満の酸化過程をSTMを用いて解析した。その結果、酸化初期段階において酸化物1次元チェーンが発生し、酸化物アイランドの構成原子数が4個以上になると2次元平面成長に転じる初期酸化過程におけるモフォロジーの変化を見いだした。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:14.36

分野:Physics, Applied

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.