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放射光軟X線光電子分光装置の改造

Reconstruction of X-ray photoelectron spectroscopy system installed at the synchrotron soft X-ray beamline

平尾 法恵*; 馬場 祐治; 関口 哲弘; 下山 巖

Hirao, Norie*; Baba, Yuji; Sekiguchi, Tetsuhiro; Shimoyama, Iwao

本報告書は、高エネルギー加速器研究機構放射光科学研究施設(KEK-PF)の放射光ビームラインBL-27に設置された放射光軟X線光電子分光装置の概要をまとめたものである。同装置は、KEK-PFに建設された放射光ビームラインBL-27のうちの、軟X線ビームラインBL-27Aに1992年に付設された。それ以来、表面化学の研究を中心とした軟X線放射光利用実験に使用されてきたが、現在までにビームライン光学系及び光電子分光装置本体に数々の改造,改良を重ねてきた。また2005年に、本装置のビームライン下流側に顕微X線吸収微細構造(顕微XAFS)測定のための光電子顕微鏡及びその分析チェンバーを設置した関係で、光電子分光装置周辺の大幅な改造を行った。そこで本報告書には、今後X線光電子分光装置を使用するユーザーの参考となるように、装置の概要,操作法,関連データをまとめた。

The present report summarizes the outline and details of synchrotron soft X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) system installed at the synchrotron beamline (BL-27) of the Photon Factory (PF), High Energy Accelerator Research organization (KEK). This system was installed at the soft X-ray beamline (BL-27A), one of the branch beamlines of the BL-27, which was constructed at the KEK-PF in 1992. Since then, various researches centering around the surface chemistry field have been conducted using this XPS system. Many parts of the system have been remodeled and improved in these 14 years. In addition, a new X-ray absorption fine structure (XAFS) microscopy system and its analysis chamber have been installed just at the down stream of XPS system in 2005, therefore considerable parts of the XPS system have been renewed. Under these circumstances, this report summarizes the outline and operation manual of the XPS system. The related data about XPS, XAFS, etc. are also added in appendix for the users who will use this XPS system from now on.

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