静電加速器におけるビーム発生・照射技術の開発

Development of beam generation and irradiation technology for electrostatic accelerator

大越 清紀 ; 宇野 定則; 千葉 敦也; 山田 圭介; 齋藤 勇一; 石井 保行; 酒井 卓郎; 佐藤 隆博; 水橋 清

Okoshi, Kiyonori; Uno, Sadanori; Chiba, Atsuya; Yamada, Keisuke; Saito, Yuichi; Ishii, Yasuyuki; Sakai, Takuro; Sato, Takahiro; Mizuhashi, Kiyoshi

高崎量子応用研究所TIARAのタンデム加速器,シングルエンド加速器及びイオン注入装置の3台の静電加速器におけるH17年度のイオンビーム発生等の技術開発について報告する。主な事項は以下の通りである。タンデム加速器では多価クラスターイオンの生成・加速試験を行い、ターゲット上でAuを70pfA程度検出することに成功した。また、高電圧ターミナルの荷電変換ガスの種類を変え、クラスターイオン解離率との依存性について調べた結果、分子数の小さいガスの方が、クラスターイオンを解離せずに透過しやすい傾向があることがわかった。シングルエンド加速器ではエネルギー高安定化技術開発を進めるため、これまで行ってきた核共鳴反応によるエネルギー幅測定法の分解能について評価を行った。その結果、本方法によりビームエネルギー幅測定を510オーダーの分解能で測定できることがわかった。イオン注入装置では小型ECRを搭載して、MIVOC法によりSiの3価及び5価を、それぞれ3.6A及び0.9A発生することに成功し、イオン注入装置でSiのMeV領域の照射を可能とした。

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