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Electron irradiation-induced defects in ZnO studied by positron annihilation

陽電子消滅による電子線照射された酸化亜鉛中欠陥の研究

Chen, Z. Q.*; 前川 雅樹; 河裾 厚男; 境 誠司; 楢本 洋

Chen, Z. Q.*; Maekawa, Masaki; Kawasuso, Atsuo; Sakai, Seiji; Naramoto, Hiroshi

酸化亜鉛(ZnO)結晶にエネルギー3MeV,照射量5.5$$times$$10$$^{18}$$cm$$^{-2}$$の電子線照射を行い、格子欠陥の発生及び熱アニールによる欠陥回復過程を陽電子消滅法を用いて評価した。照射後には陽電子寿命及びドップラー広がり幅(Sパラメータ)の増大が見られた。これはZn空孔に関連した欠陥の発生を示している。この照射欠陥のほとんどは200度までの熱アニールにより消失した。しかし、400度でのアニールを行ったところ、これとは異なった種類の欠陥が生成することがわかった。700度の熱アニールでは、すべての種類の空孔型欠陥が消失した。

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分野:Physics, Condensed Matter

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