超純水製造のためのグラフト吸着材の開発

Development of grafting adsorbent for ultra pure water production

竹田 俊英*; 玉田 正男

Takeda, Toshihide*; Tamada, Masao

繊維状グラフト吸着材は、従来の粒状の樹脂吸着材に比較して、高速で金属を吸着することができる。また、TOC(全炭素量)の溶出を洗浄により容易に低減化できるため、半導体や液晶の製造工程で使用される超純水の製造への応用が期待できる。本研究では放射線グラフト重合法で作製したスルホン酸型グラフト不織布のナトリウム除去について、極低濃度での吸着特性について検討した。ナトリウム濃度が10,000ppbでは破過点は660であるが、濃度が減少するにつれて破過点が増加し、10ppbで5,000となった。このことから、スルホン酸型グラフト不織布は極低濃度のナトリウムなどの除去に対して、実使用上問題のない処理容量特性を持つことがわかった。

The fabric graft-adsorbent can adsorb the metal ions quicker than a commercial resin adsorbent. Additionally, its application to the production of ultra-pure water used in the process of the semiconductor and the liquid crystal is expected to reduce the elution of the total organic carbon. In the present research, the removal characteristic of the sodium ion in extremely low concentration was investigated by using the graft adsorbent of sulfonic acid type which was synthesized by the radiation-induced graft polymerization. The break point of the column evaluation was 660 in the sodium ion concentration of 10,000 ppb. The break point increased as the concentration of sodium ion decreased and became 5,000 at 10 ppm. The graft adsorbent of sulfonic acid type was considered to be promising adsorbent for the graft adsorbent of sulfonic acid type on the point of view of adsorption capacity of sodium ion.