TIARAイオン注入装置におけるビーム強度分布モニタの試作

Development of a ion beam intensity distribution monitor for the TIARA 400kV ion implanter

Yamada, Keisuke; Agematsu, Takashi; Mizuhashi, Kiyoshi

静電加速器のイオンビーム形状の調整に必要なビーム強度分布のリアルタイム計測には、アルミナ等の蛍光体が広く利用されている。しかし、TIARA400kVイオン注入装置のような低エネルギーの重イオンビームでは、蛍光体の発光は微弱で、劣化が激しいために短時間で発光しなくなるなどの問題点が多い。そこで、広範囲のイオン種、ビームエネルギー及びビーム強度に対して正確な強度分布を計測するため、マルチファラデーカップを試作した。本研究会ではこのマルチファラデーカップの構造及び測定システムを報告するとともに、C $_{60}$ $^{+}$ ビームの測定により評価した性能を報告する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	JAEA-Conf 2008-012
巻	:
号	:
ページ数	:	p.134 - 137
発行年月	:	2009/03
発表会議名	:	第21回タンデム加速器及びその周辺技術の研究会
開催年月	:	2008/07
開催都市	:	高崎
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://jopss.jaea.go.jp/pdfdata/JAEA-Conf-2008-012-1.pdf
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
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登録番号 : BB20081721
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 5712

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