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TIARAイオン注入装置におけるビーム強度分布モニタの試作

Development of a ion beam intensity distribution monitor for the TIARA 400kV ion implanter

山田 圭介; 上松 敬; 水橋 清

Yamada, Keisuke; Agematsu, Takashi; Mizuhashi, Kiyoshi

静電加速器のイオンビーム形状の調整に必要なビーム強度分布のリアルタイム計測には、アルミナ等の蛍光体が広く利用されている。しかし、TIARA400kVイオン注入装置のような低エネルギーの重イオンビームでは、蛍光体の発光は微弱で、劣化が激しいために短時間で発光しなくなるなどの問題点が多い。そこで、広範囲のイオン種、ビームエネルギー及びビーム強度に対して正確な強度分布を計測するため、マルチファラデーカップを試作した。本研究会ではこのマルチファラデーカップの構造及び測定システムを報告するとともに、C$$_{60}$$$$^{+}$$ビームの測定により評価した性能を報告する。

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