大気マイクロPIXEを用いた微小試料の三次元元素分布測定

Three-dimensional measurement of elemental distribution in minute samples by in-air micro-PIXE

佐藤 隆博; 石井 保行; 大久保 猛; 神谷 富裕; 荒川 和夫

Sato, Takahiro; Ishii, Yasuyuki; Okubo, Takeru; Kamiya, Tomihiro; Arakawa, Kazuo

組織切片などの微小試料を回転させマイクロPIXE(Particle Induced X-ray Emission)を行い、X線CT等で用いられている画像再構成の手法を応用すると、微小試料内の微量元素の三次元分布が測定可能となる。ただし、X線CT等と異なり、マイクロPIXEで得られる投影像は、試料の内部でイオンマイクロビームのエネルギーが減少することによるX線の発生断面積の変化や、発生したX線の試料内での吸収を補正する必要がある。そこで、試料中の主要元素の比率は一定であると仮定したうえで、STIM(Scanning Transmission Ion Microscopy)-CTを行い、その測定結果をもとに、マイクロPIXEで得られる微量元素分布の投影像を補正し、画像再構成を行うことで、微量元素の三次元分布を得ることに成功した。

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